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用于故障分析與敏感材料研究的高真空原子力顯微鏡

Park NX-Hivac通過(guò)為失效分析工程師提供高真空環(huán)境來(lái)提高測(cè)量敏感度以及原子力顯微鏡測(cè)量的可重復(fù)性。與一般環(huán)境或干燥N2條件相比，高真空測(cè)量具有準(zhǔn)確度高、可重復(fù)性好及針尖和樣本損傷低等優(yōu)點(diǎn)，因此用戶(hù)可測(cè)量各種故障分析應(yīng)用中許多信號(hào)響應(yīng)，例如掃描擴(kuò)散電阻顯微術(shù)(SSRM)的摻雜物濃度。

Park NX-Hivac使得真空環(huán)境中高精準(zhǔn)度和高分辨率測(cè)量的材料科學(xué)研究遠(yuǎn)離氧氣與其它藥劑的影響。

在高真空條件下執(zhí)行掃描擴(kuò)散電阻顯微鏡測(cè)量可減少所需的針尖-樣本相互作用力，從而大幅度降低對(duì)樣本和針尖的損傷。如此可延長(zhǎng)各針尖的使用壽命，使掃描更加低成本和便捷，并通過(guò)提高空間分辨率和信噪比得到更為精準(zhǔn)的結(jié)果。因此，利用NX-Hivac進(jìn)行的高真空掃描擴(kuò)散電阻顯微術(shù)測(cè)量可謂是故障分析工程師增加其吞吐量、減少成本和提高準(zhǔn)確性的明智選擇。

Park Hivac 管理器

NX-Hivac 真空自動(dòng)控制

Hivac 管理器通過(guò)一鍵單擊在邏輯和視覺(jué)上精細(xì)控制真空條件，在抽氣和排氣過(guò)程來(lái)實(shí)現(xiàn)高真空。各個(gè)過(guò)程通過(guò)顏色和圖示變化得到直觀監(jiān)控，一鍵單擊后您即可無(wú)需操心真空操作順序。更快速、更簡(jiǎn)便的真空控制軟件使原子力顯微鏡的使用更便捷更有效。

Park NX-Hivac 技術(shù)參數(shù)

掃描器

Z掃描器

柔性引導(dǎo)高推動(dòng)力掃描器

掃描范圍: 15 μm (可選 30 μm)
高度信號(hào)噪聲等級(jí): 30 pm
0.5 kHz bandwidth, rms (typical)

XY掃描器

閉環(huán)控制的柔性引導(dǎo)XY掃描器

掃描范圍: 100 μm × 100 μm
(可選50 μm × 50 μm)

驅(qū)動(dòng)臺(tái)

Z位移臺(tái)行程范圍 : 24 mm (Motorized)
聚焦樣品臺(tái)行程范圍 : 11 mm (Motorized)
XY位移臺(tái)行程范圍 : 22 mm x 22 mm (Motorized)

樣品架

樣品大小: 尺寸上限為 50 mm x 50 mm, 厚度甚至可達(dá) 20 mm
樣品重量 : < 500 g

光學(xué)

10倍長(zhǎng)工作距離鏡頭
樣品表面和懸臂的直觀同軸影像
視野 : 840 × 630 μm (帶10倍物鏡)
CCD : 5 M pixel

物理信息

內(nèi)真空室: 300 mm x 420 mm x 320 mm
外部真空 (including granite & pump) : 800 mm x 950 mm x 1240 mm

高真空

真空等級(jí): 通常小于 1 x 10-5 torr
托泵速 : 使用渦輪和干式泵在約5分鐘內(nèi)達(dá)到 10-5 torr

軟件

SmartScan?

AFM系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)采集軟件
智能模式的快速設(shè)置和簡(jiǎn)易成像
手動(dòng)模式的使用和更精密的掃描控制

XEI

AFM數(shù)據(jù)分析軟件

真空管理器

自動(dòng)真空控制軟件

電子

集成功能
4通道靈活的數(shù)字鎖相放大器
彈簧常數(shù)校準(zhǔn)（熱法，可選）
數(shù)字Q控制

外部信號(hào)接入
20個(gè)嵌入式信號(hào)輸入/輸出端口
5個(gè)TTL輸出 : EOF、EOL、EOP、調(diào)制和交流偏置